光刻机专利 涵盖哪些国家？　　自从1961年第一台光刻机诞生以来，光刻技术已经成为微电子制造中最重要的一部分。光刻机作为半导体工业的核心技术设备之一，可以生产微处理器、随身听、手机等各种微型电子器件。