光刻机技术专利的发展与应用　　光刻机是一种制造微电子元件的重要设备，也是微电子制造行业的核心技术之一。其运用光学原理和化学反应的方法在半导体材料上进行微细图案的制作，从而实现芯片的制造。 　　随着市场