光刻机是一种利用高能辐射进行图案制造的重要工具。它在半导体工业中被广泛使用，是制造微电子元件的关键设备之一。本文将介绍光刻机的原理、分类以及应用。光刻机的原理是利用激光光源照射在光刻胶层上，形成光刻胶