光刻机是半导体芯片制造中不可或缺的设备之一，其作用是将图案影射到光阻层上，用于制造微细结构。在光刻机技术方面，一些企业通过技术创新获得了专利，形成了专利壁垒。这一壁垒不仅影响了企业间的竞争，还对整个行