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近年来，中国光刻机专利数量迅速增长，成为全球光刻机专利之王。据最新数据统计，中国已经拥有超过9000项与光刻机相关的专利，占据了全球光刻机专利的三分之一以上的份额。光刻机是晶圆制造中的重要设备，其作用
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