光刻机专利公开是如何影响行业的？　　光刻机是半导体制造过程中不可或缺的设备，主要用于将芯片图形化到芯片制造的硅片上。由于光刻机的重要性，很多公司都在这一领域不断地进行研究和开发。然而，为了保护自己的技