光刻机专利：推动集成电路制造技术发展　　随着信息通讯技术和互联网技术的不断发展，集成电路制造技术的重要性越来越突出。而光刻机作为集成电路制造中的核心设备，其专利技术的保护与发展，对于集成电路产业的发展