光刻机专利是公开的　　光刻机是半导体制造过程中必不可少的设备之一，它的作用是将芯片上的电路图案转移到硅片或其他材料表面。不过，要想让光刻机能够精准地进行图案转移，就要依靠专利技术的支持。 　　在光刻机