光刻机专利是公开的　　对于很多人来说，光刻机可能是一个比较陌生的概念，但它在现代半导体制造业中却是一个非常重要的环节。简单来说，光刻机就是一个通过利用光源和掩模来制造微电子芯片的设备，是半导体工业中至