光刻机有专利吗 ？　　光刻机，是半导体制造中最为重要的设备之一。它用来将光敏材料上的图样转移到硅片或其它半导体材料上，以制造各种微电子元器件和芯片。众所周知，专利在半导体制造中具有非常重要的地位。那么