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光刻机有专利吗？ 光刻机（Lithography）是一种重要的微电子制造技术，在半导体芯片、平板显示器、光学元件等领域都有广泛应用。光刻机通过紫外光等能量源照射光刻胶，将芯片设计图案转移到硅片表面，
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