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原子层沉积（ALD）技术在半导体制造中发挥着重要作用。该技术通过控制材料的沉积过程，能够实现级别...

MEMS（微电机械系统）无线通信技术是近年来快速发展的一个重要领域。MEMS技术结合了微电子技术...