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等离子体增强化学气相沉积（PECVD）是一种广泛应用于薄膜材料制备的技术。该工艺通过在低温下利用...

电池作为现代科技的重要组成部分，广泛应用于电子设备、交通工具和储能系统。随着电动汽车和可再生能源...