在半导体和光伏制造领域,等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术是制备薄膜材料的关键工艺。随着...
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2025
等离子体增强化学气相沉积(PECVD)是一种广泛应用于薄膜材料制备的技术。该工艺通过在低温下利用...
2025
PECVD(等离子体增强化学气相沉积)工艺在半导体制造中扮演着关键角色,特别是在薄膜沉积方面。P...
2024
等离子体增强化学气相沉积(PECVD)是一种广泛应用于半导体制造的薄膜沉积技术。该工艺通过在低温...
2024
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